有機無機蒸發鍍膜儀設備用途：
有機無機蒸發鍍膜儀用於生長薄膜太陽能電池，EL OEL分子有機電致發光器件薄膜的研究工作。廣泛應用於大專院校、科研院所進行薄膜材料的科研與小批量製備。
有機無機蒸發鍍膜儀技術參數：
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真空室 |
二個D型真空室，尺寸均約為Ø450×H750mm; 兩個真空室的真空係統配置、極限壓力、恢複真空時間、熱阻蒸發舟及電源、膜厚監測儀、真空室照明裝置、烘烤裝置、樣品台的配置與技術參數指標相同； |
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真空係統配置 |
日本進口低溫泵、無油渦旋幹泵與電磁、複合數顯真空測量規與計、閥門等。 |
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極限壓力 |
≤2.0×10-5Pa |
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恢複真空時間 |
40分鍾可達到1×10-4Pa |
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電動磁力耦合樣品傳遞裝置 |
真空室1 |
采用磁力耦合line motion傳遞裝置，采用步進電機驅動，設有遠程手控控製盒，可控製直線前進後退。 |
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有機蒸發源及電源 |
真空室1 |
新型0EL升華型蒸發源9支，每支蒸料可裝10CC，室溫-800℃7支，室溫-1000℃2支；蒸發源電源4台。 |
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真空室2 |
新型0EL升華型蒸發源6支，每支蒸料可裝10CC，室溫-800℃6支；蒸發源電源3台。 |
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熱阻蒸發舟及電源 |
新型蒸發舟2組（熱阻蒸發舟）； 數字式熱阻蒸發電源1台，帶有細調功能（0.1安培）；鍍鋁專用盒式蒸發舟：2個； 普通金屬蒸發舟10個；蒸發源擋板2套； |
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膜厚監測儀 |
厚度分辨率 |
不平均：0.0133埃/測量；50個樣品平均：0.002埃/測量 |
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速率分辨率 |
不平均：0.0133埃/秒；50個樣品平均：0.02埃/秒 |
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精度 |
0.03HZ/測量，2ppm |
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速度 |
每秒測量十次 |
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真空室照明裝置 |
采用LED外照明方式.避免鍍膜汙染照明燈 |
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烘烤裝置 |
在真空室外烘烤帶的烘烤方式 |
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樣品台 |
樣品尺寸 |
可放置一塊100×100mm或者50×50mm基片 |
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運動方式 |
可電動上下升降，可旋轉，轉速為0-30轉/分，轉速可調 |
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