小型等離子濺射鍍膜儀產品介紹：
小型等離子濺射鍍膜儀是我公司自主研發的一款高性價比等離子濺射鍍膜設備，具有結構緊湊，簡單易用，集成度高，設計感強的優勢。等離子濺射靶為2英寸的標準尺寸。儀器所配電源為150W直流高壓電源，可用於金屬濺射鍍膜，尤其適合金銀銅等金屬的鍍膜，常用於實驗室掃描電鏡樣品的導電薄膜製備，也被稱作“噴金儀”。鍍膜儀配有通氣接口，可以通入保護性氣體，若客戶需要通入混合氣體，可以聯係工作人員自行配置高精度質量流量計以滿足實驗需要。
本鍍膜儀標配為雙極旋片真空泵，其具有體積小，抽真空快，操作簡單的優勢，若客戶有進一步提升真空度的需要，可以聯係技術人員選配分子泵組組成高真空係統。
小型等離子濺射鍍膜儀適用範圍：
可用於金屬濺射鍍膜，尤其適合金銀銅等金屬的鍍膜。
小型等離子濺射鍍膜儀技術參數：
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小型等離子濺射鍍膜儀 |
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樣品台 |
尺寸 |
φ60mm |
高度 |
距離濺射靶20mm~35mm可調 |
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直流濺射頭 |
數量 |
2” ×1 |
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真空腔體 |
腔體尺寸 |
φ180mm × 100mm |
觀察窗口 |
全向透明 |
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腔體材料 |
高純石英 |
開啟方式 |
頂蓋拆卸式 |
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真空係統 |
機械泵 |
旋片泵 |
抽氣接口 |
KF16 |
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真空測量 |
電阻規 |
排氣接口 |
KF16 |
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極限真空 |
1.0E-1Pa |
供電電源 |
AC 220V 50/60Hz |
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抽氣速率 |
旋片泵：1.1L/S |
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電源配置 |
數量 |
直流電源 x1 |
*大輸出功率 |
150W |
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其他 |
供電電壓 |
AC220V,50Hz |
整機尺寸 |
360mm × 300mm × 470mm |
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整機功率 |
800W |
整機重量 |
30kg |
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