等離子濺射和蒸發二合一鍍膜儀配備了直流濺射靶和熱蒸發組件，不但可以用於等離子濺射方式鍍金屬膜，也可以用蒸發的方式得到碳或者其他金屬單質的薄膜。為了提高鍍膜質量，本台二合一鍍膜儀采用的不鏽鋼真空腔體配合精密分子泵的高真空設計，較高的真空度能夠有效的提升鍍膜純淨度和均勻度，有利於得到更好的實驗效果。樣品台有旋轉和加熱功能，能夠提高薄膜的附著力和成膜的均勻度。本儀器體積小，節省空間，能夠置於試驗台上使用，非常適合各大高校及研究機構選用。
小型高真空二合一鍍膜儀適用範圍：
掃描電鏡樣品表麵噴金、蒸金噴碳等操作，以及非導體材料試驗電極的製作等。
小型高真空二合一鍍膜儀技術參數：
|
小型高真空二合一鍍膜儀 |
||||
|
樣品台 |
尺寸 |
φ138mm |
控溫精度 |
±1℃ |
|
加熱溫度 |
*高500℃ |
轉速 |
1-20rpm可調 |
|
|
直流濺射頭 |
數量 |
2”×1 |
|
|
|
蒸發係統 |
蒸發源 |
鎢絲籃 |
*高溫度 |
1700℃ |
|
熱電偶 |
S型熱電偶 |
|
|
|
|
真空腔體 |
腔體尺寸 |
φ170mm×200mm |
觀察窗口 |
石英觀察窗 φ70 |
|
腔體材料 |
不鏽鋼 |
開啟方式 |
上開啟式 |
|
|
真空係統 |
產品型號 |
CY-GZK103-A |
抽氣接口 |
KF40 |
|
分子泵 |
CY-600 |
排氣接口 |
KF16 |
|
|
前極泵 |
旋片泵 |
真空測量 |
複合真空計 |
|
|
極限真空 |
1.0E-5Pa |
|||
|
抽氣速率 |
分子泵：600L/S 旋片泵：1.1L/S 綜合抽氣性能：20分鍾真空度可達： 1.0E-3Pa |
|||
|
濺射電源配置 |
數量 |
直流電源×1 |
Max 輸出功率 |
150w |
|
其他 |
供電電壓 |
AC220V,50Hz |
整機尺寸 |
600mm×300mm×470mm |
|
整機功率 |
1.5kw |
整機重量 |
40kg |
|
免責聲明：本站產品介紹內容(包括產品圖片、產品描述、技術參數等)，僅供參考。可能由於更新不及時，會造成所述內容與實際情況存在一定的差異，請與本公司銷售人員聯係確認。本站提供的信息不構成任何要約或承諾，本公司會不定期完善和修改網站任何信息，恕不另行通知，請您見諒。
